MEMS壓力傳感器適用醫療器械 又一新突破

對于MEMS壓力傳感器，其穩定耐用的特性是首要考慮因素。日前，一種可植入的小型傳感器受到人們的關注，這款傳感器其實是將一個穩定的膜片與易傳感的硅納米線結合在一起。原則上來講，設計一個小型的壓力傳感器是很簡單的：一個壓力變形隔膜嵌入一個壓敏電阻器就可以了，這個壓敏電阻器必須是由硅納米線等會由壓力引起抗電阻性變化的材料制成。但事實上卻會出現問題，包括電路設計和和脆弱的組件，任何地方出現差錯都是商用傳感器的致命傷。

這款微小MEMS壓力傳感器的原理是利用隔膜吧很小的壓力變化傳到到壓敏電阻器，但由于隔膜本身很小，同時又要抵抗變形和破損，因此，這個隔膜材料的選擇就顯得至關重要。最終產品決定利用于二氧化硅來展現完美的壓力傳感性能。然而，二氧化硅雖有優越的傳感性能，但也不能戰勝易彎曲性這個弱點。所以，羅將解決方案改為用雙層的二氧化硅，同時將壓阻式的硅納米線放在兩者中間，頂層再加一層性能穩定的氮化硅。通過蝕刻氮化硅和變化厚度、調整硅納米線，這個團隊最終發現了最優的組合。最后的傳感器成功地滿足了抵抗變形和機械損壞的同時仍然可以提供在壓力感應下電輸出的線性變化，以便符合高精度的醫療器械應用要求。