首臺先進鍍膜設備交付立昂東芯微電子

Ferrotec公司（JASDAQ：6890）今天證實，中國客戶訂購的首臺采用Auratus技術的先進鍍膜設備（Temescal UEFC系列精密電子束蒸發鍍膜設備）將交付于杭州立昂東芯微電子有限公司。立昂東芯微電子是杭州立昂微電子股份有限公司創建的從事砷化鎵晶圓代工業務的新公司，而立昂微電子則是中國功率半導體的領先供應商。立昂東芯選用Temescal UEFC系統，以便他們的客戶受益于近乎完美的薄膜沉積均勻性，并且大大減少貴重鍍膜材料的消耗。

“隨著中國移動設備和物聯網（Internet of Things）市場的迅猛增長，對基于砷化鎵材料的下一代半導體芯片的需求也越來越大。為了確保我們新創的砷化鎵晶圓代工公司的成功，我們需要一種設備可以同時實現大產能、高材料利用率和穩定均勻的工藝結果，從而盡可能降低我們的總體擁有成本”汪耀祖博士（立昂東芯的首席運營官）說。“經過認真嚴格的評估后，我們認為Ferrotec的Temescal UEFC系統是滿足我們對薄膜厚度、成分以及顆?？刂频燃夹g要求的首選電子束蒸發鍍膜設備。我們將期待能用這種系統制造出高性能的芯片。”

“中國政府一直努力促進半導體芯片制造的自給自足，而杭州立昂東芯微電子的新創砷化鎵代工廠將具有用于移動設備和物聯網的尖端芯片的制造能力。Ferrotec的Temescal UEFC電子束蒸發鍍膜系統是生產化合物半導體芯片的強大設備。我們特有的Auratus薄膜沉積工藝優化方法可提供無與倫比的產品質量和運行效率”Gregg Wallace（Ferrotec Temescal的董事總經理）說。“我們期待著杭州立昂東芯微電子的事業強勁增長，這款設備將會特別適合他們不斷擴張的砷化鎵晶圓代工業務?！?

在中國，Ferrotec的Temescal電子束蒸發鍍膜系統是由本土公司MPS（創世杰科技）代理。MPS具有豐富的服務及支持Temescal產品的現場經驗。