ERS AC3熱卡盤新推高熱均勻性產品系列

半導體制造熱管理解決方案市場的創新領導者ERS electronic GmbH宣布其革命性AC3 AirCool?產品系列實現一項重大創新：高熱均勻性(HTU)系列為半導體行業帶來一系列新的晶圓溫度探測能力。

通過新推出的HTU卡盤，ERS旨在為無處不在的新一代溫度敏感傳感器和高精度模擬器件的探測提供支持。HTU卡盤無比精準的溫度管理可得出更加準確的感測值，比如氣體濃度、濕度或壓力。

創新的HTU Aircool© AC3卡盤目前提供200mm和300mm晶圓格式。它們的熱均勻性低于±0.1°C，溫度控制穩定性優于±0.03°C。通過將HTU卡盤與ERS的動態熱屏蔽(DTS)配對，我們的客戶將完全能夠管理來自其他支持元件（比如探針卡）的環境溫度變化。

ERS electronic GmbH首席執行官兼首席銷售與營銷官Laurent Giai-Miniet表示：“我們的HTU產品系列為整個晶圓探測行業提供了最佳的熱均勻性解決方案。在我們的校準方法和監測系統的支持下，這個系列將能實現可追溯的溫度準確性。HTU必將成為適用于不斷增長的溫度敏感器件市場的探測解決方案。”