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    ERS electronic 推出其 Luminex 產品線的首臺使用了開創(chuàng)性光學拆鍵合技術的半自動設備

    2024-03-19 14:52 來源:美通社 作者:電源網

    慕尼黑2024年3月19日 /美通社/ -- 半導體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領導者ERS electronic推出了Luminex 產品線的首臺機器,該機器采用尖端的光學拆鍵合技術,適用于最大600 x 600 毫米的面板和不同尺寸的晶圓。

    Luminex: The semi-automatic machine is the first of ERS’s Luminex product line, featuring its PhotoThermal debonding technology. 
    Luminex: The semi-automatic machine is the first of ERS’s Luminex product line, featuring its PhotoThermal debonding technology.

    光學拆鍵合是一種無外力的拆鍵合方法:通過使用精準可控的閃光燈將載體與基板分離。光學拆鍵合工藝的關鍵部件是帶有光吸收層(CLAL)的玻璃載板,它能將燈的光能轉化為熱能,從而順利實現(xiàn)分離。有了 CLAL,就不再需要對載板進行涂層和清潔,從而減少了工藝步驟以及相關復雜程序和成本,與傳統(tǒng)的激光拆鍵合相比,可為用戶節(jié)省高達 30% 的運營成本。

    ERS 半自動設備屬于 Luminex 產品系列的第一臺設備。目前,ERS 正在開發(fā)用于 300 毫米晶圓的全自動設備,該設備將于本年第二季度末發(fā)布。作為綜合產品線的一部分,公司將提供帶有多個模塊化附加組件的自動設備,進一步提高產品質量和產量。

    "ERS公司副總裁兼APEqS業(yè)務部負責人Debbie-Claire Sanchez表示:"光學拆鍵合是半導體制造領域的一次重大飛躍。" Luminex 生產線的第一臺機器是從事先進封裝開發(fā)或新產品引進的研發(fā)團隊的絕佳跳板,在此也誠邀各公司將樣品寄給ERS進行測試。"

    從四月份開始,這臺半自動設備將分別配備在 ERS 中國上海和德國的實驗室,用于測試客戶的晶圓和面板樣品以及樣品演示。

    關于ERS:

    ERS electronic GmbH位于慕尼黑郊區(qū)的Germering,50多年來一直為半導體行業(yè)提供創(chuàng)新的溫度管理解決方案。該公司以其快速、精確的基于空氣冷卻的溫度卡盤系統(tǒng)贏得了卓越的聲譽,其測試溫度范圍為 -65 °C 至 +550 °C,適用于分析、參數(shù)相關和制造針測。2008 年,ERS 將其專業(yè)技術擴展到先進封裝市場。如今,在全球大多數(shù)半導體制造商和OSAT的生產車間都能看到他們的全自動、手動拆鍵合和翹曲矯正系統(tǒng)。公司在解決扇出晶圓級封裝制造過程中出現(xiàn)的復雜翹曲問題方面的能力得到了業(yè)界的廣泛認可。

    ERS electronic Luminex 光學拆鍵合 半自動設備

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